VIBER X5智能双通道振动分析仪-金斗云测控设备(图)
昆山金斗云测控设备有限公司(GOC)是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发,以创造工业预测维修的价值为宗旨。瑞典VMIViber-x5振动分析仪成功解决半导体行业光刻机机台的振动问题光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种,精度为七纳米至几微米之间,光刻机是世界上精密的仪器,对振动的要求非常高。瑞典VMIViber-x5振动分析仪所采用的振动标准为VC微振动标准,VIBERX5智能双通道振动分析仪,VC微振动标准分为:VC-A、VC-B、VC-C、VC-D、VC-E、VC-F、VC-G。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足CV-D6.25um/sRMS以下。名的光刻机制造商荷兰ASML要求洁净室的楼板及机台振动必须符合VC-D标准才能实施装机,某名半导体制造商使用瑞典VMIViber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集,发现洁净室楼板的振幅只能满足VC-C12.5um/sRMS,无法满足CV-D6.25um/sRMS。通过瑞典VMIViber-x5振动分析仪的频谱分析功能,发现了振动超标的频率并成功找到振动源,经过瑞典VMI振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。昆山金斗云测控设备有限公司(GOC)是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发,以创造工业预测维修的价值为宗旨。瑞典VMI振动分析仪VIBERX5规格说明:常规功能数据记录器利用数据记录器你可以连续地测量1或2个通道时间或者计数的振动值(总值),此功能主要用于监测设备一段时间内非周期性的突发振动。总值测量这个程序用来分析诸如拧紧螺丝和一些其他机械改变行动产生的影响,它也用来给出关于机器振动状态的一个快速评估。昆山金斗云测控设备有限公司(GOC)是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发,以创造工业预测维修的价值为宗旨。轴心轨迹(XY图):用这个程序,你可以看见轴的相对轨迹。它利用两个垂直安装(呈90度角)的传感器,以显示出X值相对于Y值的图形,主要用于分析滑动轴承的故障,如汽轮机、压缩机等大型高转速设备。同步频谱:这个程序对减弱复杂信号频谱的背景噪声是很有用的。当你具有非常接近机器转速谐频的谱峰时,此功能能准确分析隔离非常接近于设备转速的频率及转速谐波的谱峰。VIBERX5智能双通道振动分析仪-金斗云测控设备(图)由昆山金斗云测控设备有限公司提供。昆山金斗云测控设备有限公司为客户提供“现场动平衡仪,振动分析仪,测振仪,动平衡服务,振动检测服务”等业务,公司拥有“瑞典VMI”等品牌,专注于仪器仪表等行业。,在昆山开发区长江南路1128号304室的名声不错。欢迎来电垂询,联系人:韩建明。)
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