升降高温炉-上海韵通(图)
高温炉操作规程1准备工作a,检查电源线接触是否良好b,检查连接线是否正常c,检查冷却水是否正常d,检查密封性是否正常e,准备所需工具:无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘2开炉a,打开主电源开关b,向炉体充ya气至大气压,打开炉体前门,取下石墨盖板c,将输送车开关打至OUTd,清炉清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物3装料a,将石墨坩埚放置于输送车平台上,使用限位杆确定其位置,依次装入硅料。b、拔出限位杆,输送车开关打至IN,依次操作UP-FORWARD-BACK-DOWN,将坩埚装入炉膛内,并确定输送车会到初始位置。c、装入石墨盖板,拧紧石墨螺栓,关紧炉门4抽气a、检查炉门是否关紧,真空系统是否密封b、置DP按钮于DPON,打开干式真空泵,打开真空计开关P1G1,打开干式真空泵。阀门,开始抽气测试泄漏率,c、当压力表指示为50Pa是关闭真空泵阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min,打开ya气阀门充ya气(20L/min)。加热先打开水环泵再按RUN,开始工艺加热。冷却a、加热结束后,升降高温炉,按工艺条件进行冷却。高温炉洗炉步骤:1.使用保护气体驱除炉内空气:(1)在电炉预热之前,一般应将保护气体引入炉内;(2)保护气体可以通过上,下和后洗涤炉口。排气口的针阀应打开大尺寸,以便尽快的排出炉内空气;(3)通常,将约10倍体积炉的保护气体引入炉内,使炉内的氧浓度降至约10ppm;(4)当炉内氧气浓度满足产品工艺要求时,可关闭排气口针阀,节约保护气体,关闭炉口,进气口用于通过流量计进入;(5)在使用电炉的过程中,须在炉内保持正压,以防止外部空气进入炉内。2.真空泵预真空方式:(1)将任何一个出风口连接到真空软管;(2)预先清空炉腔;(3)获得保护气体;(4)对炉腔进行预真空。高温炉操作知识大全高温炉其实是高温电炉的简称,高温炉可分为很多种,如箱式高温炉、管式高温炉、升降高温炉、真空高温炉、真空气氛高温炉等等!下面给大家多面的讲解一下高温炉的操作注意事项:1、检查电器控制箱内是否有工具或其他导电物质,炉内若有遗忘的工件存在应及时清除。2、合闸后检查电器开关接触是否正常。3、检查温度控制仪表工作是否正常,并打开其开关,使其处于工作状态。4、将温度自动控制仪表按工艺要求定好温度。升降高温炉-上海韵通(图)由上海韵通测试仪器有限公司提供。上海韵通测试仪器有限公司拥有很好的服务与产品,不断地受到新老用户及业内人士的肯定和信任。我们公司是商盟认证会员,点击页面的商盟客服图标,可以直接与我们客服人员对话,愿我们今后的合作愉快!)