企业视频展播，请点击播放视频作者：廊坊市航新仪器仪表有限公司<b>石英挠性加速度计拆解</b><br/><divstyle='text-align:center;'><imgsrc='https://img301.dns4.cn/pic/262092/p3/20190114150634_6379_zs.jpg'data-ke-src='https://img301.dns4.cn/pic/262092/p3/20190114150634_6379_zs.jpg'></div><divstyle='text-align:center;'><imgsrc='https://img301.dns4.cn/pic/262092/p3/20190114150648_2080_zs.jpg'data-ke-src='https://img301.dns4.cn/pic/262092/p3/20190114150648_2080_zs.jpg'></div><pstyle='line-height:2;font-size:16px;'>石英挠性加速度计拆解指南（技术说明）<br/>一、拆解前准备<br/>（1）工具选择：防静电镊子、精密螺丝刀组、真空吸盘、放大镜及防静电工作台<br/>（2）防护措施：穿戴防静电手环，保持环境湿度40-60%，温度控制在20±5℃<br/>二、拆解步骤<br/>1.外壳分离<br/>-移除6颗M1.2钛合金紧固螺钉（扭矩<0.05Nm）<br/>-使用真空吸盘分离上下盖体（吸力值设定5-8kPa）<br/>-观察密封胶残留情况，必要时使用异清洁<br/>2.电路模块拆卸<br/>-断开柔性PCB连接器（ZIF型，开启力<1N）<br/>-取出信号处理板（含ASIC芯片，尺寸15×15mm）<br/>-记录位移传感器初始位置（误差需<50μm）<br/>3.挠性结构处理<br/>-定位石英摆片组件（厚度0.15±0.01mm）<br/>-解除力矩器线圈约束（漆包线直径25μm）<br/>-分离双轴挠性支撑梁（杨氏模量72GPa）<br/>三、关键注意事项<br/>1.石英材料脆性：接触压力需<10mN，避免产生微裂纹<br/>2.磁路保护：磁钢组件剩磁>1.2T，拆解时保持10cm间距<br/>3.清洁规范：仅允许使用超纯氮气吹扫（纯度99.999%）<br/>四、风险提示<br/>本拆解过程具有不可逆性，会导致Q-Flex敏感结构参数（标度因数、零偏）发生不可逆改变（典型偏差>5%）。建议非人员避免自行拆解，石英加速度计，需在Class100洁净环境下由计量工程师操作。<br/>注：拆解后器件需重新进行温度补偿（-40~85℃）、振动校准（20-2000Hz）等18项标定程序方可恢复使用功能。</p><divid='div_zsDIV'></div><br/><b>石英挠性加速度计发展历程</b><br/><divstyle='text-align:center;'><imgsrc='https://img301.dns4.cn/pic/262092/p4/20190114140952_0207_zs.jpg'data-ke-src='https://img301.dns4.cn/pic/262092/p4/20190114140952_0207_zs.jpg'></div><pstyle='line-height:2;font-size:16px;'>石英挠性加速度计作为高精度惯性传感器的代表，其发展历程与航空航天、导航及工业控制技术的需求紧密相关。20世纪50年代，随着和航天器的快速发展，传统机械式加速度计因摩擦、迟滞等问题难以满足高精度要求。在此背景下，石英材料因其优异的温度稳定性、低热膨胀系数和弹性特性受到关注。60年代，美国研制出基于石英挠性支承结构的加速度计，通过光刻和化学蚀刻技术加工出超薄石英摆片，结合电磁反馈技术，显著提升了灵敏度和长期稳定性，成为惯性导航系统的元件。<br/>70至80年代，技术进入快速发展期。石英微加工工艺的成熟使得挠性支承结构更加精细，同时温度补偿电路和闭环控制技术的引入，有效降低了环境干扰对输出的影响。这一阶段的产品精度达到10??g级别，被广泛应用于战略、潜艇导航及姿态控制。90年代后，微电子机械系统（MEMS）技术的兴起推动石英加速度计向小型化、集成化发展。通过硅-石英异质键合工艺，实现了敏感结构与ASIC电路的微型封装，功耗和体积大幅缩减，为民用领域（如石油测斜仪、监测设备）的拓展奠定了基础。<br/>进入21世纪，石英挠性加速度计在抗辐射、抗冲击等环境适应性方面持续突破。新型数字闭环控制算法和纳米级加工技术使其精度逼近10??g，支撑了深空探测器和导航系统的发展。当前，该技术正与光纤陀螺、原子干涉仪等新型传感器融合，向多物理场耦合补偿、智能自诊断方向发展，持续巩固其在惯性测量领域的地位。</p><br/><divstyle='text-align:center;'><imgsrc='https://img301.dns4.cn/pic/262092/p2/20190114145358_8634_zs.jpg'data-ke-src='https://img301.dns4.cn/pic/262092/p2/20190114145358_8634_zs.jpg'></div><pstyle='line-height:2;font-size:16px;'>石英挠性加速度计是一种高精度惯性传感器，其敏感元件是由石英材料制成的挠性摆片组件。这一组件的设计和材料特性使其能够感知外界加速度变化，成为加速度计实现高灵敏度与稳定性的关键。<br/>石英作为敏感元件的基础材料，具有多项优异特性：首先，其热膨胀系数极低（约0.55×10^-6/℃），显著降低了温度变化引起的测量误差；其次，石英的弹性模量高且稳定，挠性结构在受力后能产生的弹性形变；再者，石英的物理化学性质稳定，抗电磁干扰能力强，加速度计，且无磁性，适用于复杂环境。这些特性使石英成为制造高精度加速度计的理想材料。<br/>敏感元件的结构由光刻和化学蚀刻工艺精密加工而成，主要包括：<br/>1.**挠性摆片**：厚度仅数十微米的超薄石英片，通过微加工形成柔性铰链结构，允许质量块在加速度作用下绕支点偏转<br/>2.**检测质量块**：与摆片集成的石英质量块，通常设计为对称结构以减小交叉耦合误差<br/>3.**电极系统**：在石英表面镀制的金属电极，包括驱动电极和检测电极，用于形成静电力反馈和电容检测<br/>其工作原理基于经典牛顿力学：当加速度作用于传感器时，检测质量块因惯性力产生位移，导致挠性摆片发生微米级弹性变形。这种形变通过两种方式被检测：电容式检测通过测量质量块与固定电极间的电容变化；压电式则利用石英的压电效应产生电荷信号。同时，闭环系统通过静电力反馈使质量块保持平衡，石英加速度计用途，反馈力大小即对应加速度值。<br/>敏感元件的创新设计体现在三个方面：采用全石英一体化结构消除装配应力；挠性铰链的对称布局降低横向干扰；微米级加工精度确保结构一致性。这些设计使传感器具备优于1μg的分辨率和0.01%的线性度，挠性加速度计，在航天器姿态控制、战略制导等领域具有的作用。随着微机电系统（MEMS）技术的发展，石英挠性加速度计正向微型化、智能化方向演进，但其敏感元件仍保持着石英材料的优势。</p><br/>加速度计-航新仪器公司-石英加速度计用途由廊坊市航新仪器仪表有限公司提供。廊坊市航新仪器仪表有限公司坚持“以人为本”的企业理念，拥有一支高素质的员工队伍，力求提供更好的产品和服务回馈社会，并欢迎广大新老客户光临惠顾，真诚合作、共创美好未来。航新——您可信赖的朋友，公司地址：廊坊市广阳区和平路188-4号，联系人：任德忠。同时本公司还是从事加速度传感器，加速度传感器厂家，石英扰性加速度传感器的厂家，欢迎来电咨询。)