
四氟化碳-谱纯气体|各地配送-四氟化碳厂家
高纯四氟化碳是纯度在99.999%以上的四氟化碳产品,是一种无色无味气体。高纯四氟化碳不可燃烧,在常温常压条件下化学性质稳定,高纯四氟化碳,在密闭容器中遇高热有危险,不溶于水,可溶于苯、等部分溶剂。常温常压下稳定,避免强氧化剂、可燃物。不燃气体,四氟化碳公司,遇高热后容器内压增大,有开裂、炸危险。化学性质稳定,不燃。常温下只有液氨-试剂能发生作用。高纯四氟化碳在常温常压条件下化学性质稳定,高纯四氟化碳是一种高纯电子气体,在电子产业中需求量大。对于硅和二氧化硅体系,采用CF4-O2反应离子刻蚀时,四氟化碳厂家,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。产品经除尘,碱洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏,通过控制精馏温度,除去O2、N2、H2,得到高纯CF4。因为四氟化碳和四氟化1硅都是共价化合物,然而碳氟键的键能远远大于硅氟键的键能,键长也是前者短得多,所以四氟化碳的热稳定性更好。对于硅和二氧化硅体系,采用CF4-O2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。四氟化碳的热稳定性更好。化合物的热稳定性主要与化学键的键能及键长有关。零下198°C时,四氟化碳具有单斜的结构,四氟化碳,晶格常数为a=8.597,b=4.433,c=8.381(.10-1nm),β=118.73°。四氟化碳是可作为氟和自由基氟化碳的来源,用于各种晶片蚀刻工艺。四氟化碳和氧结合用以蚀刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四氟化碳-谱纯气体|各地配送-四氟化碳厂家由安徽谱纯气体科技有限公司提供。安徽谱纯气体科技有限公司是安徽合肥,工业气体的见证者,多年来,公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针,满足客户需求。在安徽谱纯领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈,共创安徽谱纯更加美好的未来。)