洁净室中的温湿度控制：洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产蕞佳温度范围为35—45%。企业视频展播，请点击播放视频作者：山东晴朗净化科技有限公司无尘洁净棚又名净化洁净棚、百级洁净棚、千级洁净棚、万级洁净棚，为在乱流式之无尘车间空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为较好洁净空间，内部空间高度在2.0米左右，覆盖面积约50m2以下，四支支柱可加装活动轮，可为弹性运用，可配套风淋室使用。无尘洁净棚材料：无尘洁净棚的框架一般有：不锈钢方通，铁方通，铝型材三种。无尘洁净棚顶部材料一般有：不锈钢板，冷轧钢板喷塑，防静电网格围帘，(防静电)亚克力板三种。洁净送风部分，一般选择FFU层流罩(FFU层流送风单元)无尘洁净棚的围护材料一般包括：防静电围帘，(防静电)亚克力板两种。保证净化空调系统的送风量：即保证洁净室内的换气次数，以满足室内气流组织的需要。净化空调系统在正常运行时，应定期对系统的送风量进行测定，测可选在送风机进出风口处和送风口处。因为系统的送风量在设计时是从能量的消耗量，室内应有的气流组织等诸方面来综合考虑的。如果系统送风量过低，万级防爆净化公司设计，则会使洁净室内送风口处的气流速度降低，从而破坏室内的气流组织形式，使室内受到污染的空气无法排出，达不到室内要求的洁净度标准。系统送风量的减少可能会有以下几个因素：1）皮带传动的风机在运行一段时间后由于皮带的拉长，而使风机转速下降，从而风机输送风量减少。2）空气过滤器容尘量达到蕞大值，从而使空气阻力加大，风送不出去。万级防爆净化公司设计由山东晴朗净化科技有限公司提供。山东晴朗净化科技有限公司是山东临沂,工程施工的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在晴朗净化领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创晴朗净化更加美好的未来。同时本公司还是从事山东GMP净化车间施工，临沂GMP洁净车间设计，临沂GMP车间安装的厂家，欢迎来电咨询。)