顶旭苏州微控技术(多图)-金华显影机
装箱清单1、桌面微型紫外光刻机主机1台2、匀胶机1台3、热板2台4、数显测厚规(千分款)1只5、显微镜1台(选配)6、耗材:硅片、掩膜版、SU8光刻胶(需额外购买)顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案。耗材硅片硅片没有特殊要求,单面抛光即可。制备SU8模具时在硅片抛光旋涂光刻胶。光刻掩膜板光刻掩膜版(又称光罩,英文为MaskReticle),简称掩膜版,是制备SU8模具光刻工艺所使用的图形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成微结构掩膜图形,通过曝光过程将微结构图形信息转移到SU8光刻胶涂层上,实现微结构的jing确复zhi。光刻掩膜版,一般可分为菲林掩膜版和玻璃掩膜版两种。SU8模具制备流程1.后烘将曝光后的硅片放置在热板上,进行后曝光烘烤,以确保光刻胶的交联反应完成。(举例说明:目标胶厚度50um,显影机,设置温度65℃,烘烤7min,然后温度95℃,烘烤3min)2.显影将硅片放入显影剂中,使未曝光部分的光刻胶溶解,形成模具的图案。(显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整,此处显影时间20min)3.清洗将显影后的硅片用异丙chun溶剂进行清洗,去除多余的光刻胶。4.检查使用显微镜检查制备的SU-8模具,测试观察制备的微结构尺寸,确认图案的清晰度和质量。顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案顶旭苏州微控技术(多图)-金华显影机由顶旭(苏州)微控技术有限公司提供。顶旭(苏州)微控技术有限公司是从事“微流控芯片定制,微流控芯片加工设备,微流控仪器,表面修饰”的企业,公司秉承“诚信经营,用心服务”的理念,为您提供更好的产品和服务。欢迎来电咨询!联系人:周经理。)
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