真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在低真空极限压力下真空泵的极限压力。泵的传动方式真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的偏向电动机和齿轮箱一侧。真空泵组阀片的作用：阀片其实对于真空泵机组的运行起到了很大的作用，如果阀片受损就会严重影响机组的正常运转情况，所以这就需要对阀片做好定期检查，从而确保阀片能够长久保持良好的使用状态。真空泵组在运行过程中会出现机械故障，为了预防这些可能出现的故障，首先保证设备的密封效果，一般会在真空泵两端的柔性排气孔上安装一组阀片，阀片的作用是为了尽可能的缓解由于真空泵工作出现的气压不稳影响到内部压缩作业效果的情况。)