顶旭微控技术-徐州SU8模具加工设备
1、简要介绍PDMS芯片加工平台旨在为PDMS芯片制备提供一套gao效、quan面的解决方案。该平台集成了电子秤、PDMS芯片浇筑器、烘箱、PDMS芯片打孔器、PDMS芯片切割器、PDMS芯片对准器以及PDMS等离子键合机等PDMS芯片加工设备。电子秤确保PDMS材料的jing确配比,为芯片制备提供了可靠的基础。PDMS浇筑器以其zhuan业的设计,使PDMS材料均匀浇筑于模具上,为芯片成型提供了支撑。烘箱提供稳定的温度控制,确保PDMS材料的充分固化。PDMS打孔器和切割器保证了jing准的孔洞和结构制作,提供了更高的加工精度。PDMS对准器则实现了多层结构的jing确对准,增强了制作多层PDMS芯片的能力。而等离子键合机则实现PDMS了的牢固粘合。加工平台的紧凑设计使得普通实验室也可轻松部署,有助于客户快速实现芯片制备,为微流控技术的研究和应用提供了便捷而强大的支持。2、平台组成2.1电子秤量程:0.01~1000g精度0.01g方形托盘大小:16x18cm2.2脱泡器材质:PC材料隔板直径:230mmyouzhi硅胶O型密封圈可维持高真空2.3PDMS浇筑器材质:铝合金真空吸附硅片规格:适合4寸及4寸以下SU8模具或纯硅模具浇筑2.4烘箱温度范围:10℃~300℃温度分辨率:0.1℃温度波动:±0.2℃内胆材料:不锈钢内部尺寸:35x35x35cm(长x深x高)外部尺寸:46x56x64cm(长x深x高)电源:220V功率:0.8KW2.5PDMS芯片打孔器介绍PDMS芯片打孔器,借鉴了台钻的机械原理,并对he心结构进行了优化,使得该打孔设备在操作过程中表现更为稳定。它适用于制备各种软质微流控芯片(如PDMS芯片、硅胶芯片等)的进样孔。可通过限位螺栓调整所需孔深度(范围为0-20.0毫米),SU8模具加工设备怎么样,可更换不同内径针管(范围直径0.41-9.0毫米)控制进样孔尺寸。前烘1)将涂布好SU8光刻胶的硅片放置在热板上,进行预热烘烤,去除光刻胶中的挥发性有ji溶剂,时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。(举例说明:目标胶厚度50um,设置温度65℃,烘烤15min,SU8模具加工设备哪家好,然后温度95度,烘烤15分钟)曝光1)将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。2)使用相应的掩模(掩膜)放置在硅片上进行曝光,徐州SU8模具加工设备,曝光时间和强度根据SU-8光刻胶的类型和厚度进行调整。(举例说明:目标胶厚度50um,设置曝光能量25mw/cm2,时间12s)后烘将曝光后的硅片放置在热板上,SU8模具加工设备报价,进行后曝光烘烤,以确保光刻胶的交联反应完成。(举例说明:目标胶厚度50um,设置温度65℃,烘烤7min,然后温度95℃,烘烤3min)六、显影将硅片放入显影剂中,使未曝光部分的光刻胶溶解,形成模具的图案。(显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整,此处显影时间20min)清洗将显影后的硅片用异bing醇溶剂进行清洗,去除多余的光刻胶。检查使用显微镜检查制备的SU-8模具,测试观察制备的微结构尺寸,确认图案的清晰度和质量。顶旭微控技术-徐州SU8模具加工设备由顶旭(苏州)微控技术有限公司提供。顶旭(苏州)微控技术有限公司是从事“微流控芯片定制,微流控芯片加工设备,微流控仪器,表面修饰”的企业,公司秉承“诚信经营,用心服务”的理念,为您提供更好的产品和服务。欢迎来电咨询!联系人:周经理。)