企业视频展播，请点击播放视频作者：凯德金（北京）科技发展有限公司真空泵发展历史随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。真空泵开机前应做好哪些准备？1.清理杂物。首先要清除真空泵中的尘土，其次是管子中的尘土杂物，尤其是焊接残渣，保证清洁，干式真空泵，防止进入泵中造成堵塞卡死。2.检查真空泵各个部件是否齐全。检查吸气口和排气口是否正确上紧，所有管路是否安装无误，干式真空泵供应商，同时检查冷却水管是否正常。3.保证齿轮箱润滑油在标准油位。在不同油位视镜处检查油位，干式真空泵生产厂家，确认油位在油位视镜中线偏上约3mm处，螺杆真空泵的齿轮箱中油过少容易导致齿轮、轴承润滑不足、咬死；过多则容易引起润滑油温度过度升高，导致齿轮噪音或对其他部件的影响。因此，需要注意将油位长期保持在合理范围内。4.注意冷却水量是否按要求配置。螺杆真空泵通过水冷夹套对泵体进行冷却，各个型号的冷却水量也有所不同，实际开机前要根据对应型号要求以及环境情况，保证冷却水量是否满足配置需要。5.检查确认真空机组各个阀门的状态。工艺入口阀关闭、入口过滤器排污阀关闭、出口管线畅通，出口管排污阀打开、冷却水入口管线和出口管线阀门打开、氮气线阀门打开，吹扫气压力为0.5bar，氮封气压力为3bar，吹扫阀关闭。真空泵分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。干式真空泵厂家-干式真空泵-凯德金科技由凯德金（北京）科技发展有限公司提供。凯德金（北京）科技发展有限公司在电子、电工产品制造设备这一领域倾注了诸多的热忱和热情，凯德金科技一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以品质、服务来赢得市场，衷心希望能与社会各界合作，共创成功，共创辉煌。相关业务欢迎垂询，联系人：向经理。)