四氟化碳物理性质:熔点-183.6℃，西安四氟化碳，分子式是CF4，四氟化碳价格，沸点-128.1℃，液体密度(-130℃)1.613g/cm3，液体折光率(-173℃)1.515，四氟化碳厂家，固体转变点72.2K，临界温度-45.67℃，临界压力3.73MPa，高纯四氟化碳，蒸气压（-150.7℃）13.33kPa介电常数（25℃，0.5MPa）1.0006临界密度：7.1dm3/mol标准摩尔自由能：-929.84kJ/mol标准摩尔生成自由能：-887.41kJ/mol危险性类别：第2.2类不燃气体四氟化碳是目前微电子工业中用量大的等离子烛刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯阳氧气的混合体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于化学稳定性极强，CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。对于硅和二氧化硅体系，采用CF4-O2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。四氟化碳的热稳定性更好。化合物的热稳定性主要与化学键的键能及键长有关。零下198°C时，四氟化碳具有单斜的结构，晶格常数为a=8.597，b=4.433，c=8.381(.10-1nm)，β=118.73°。四氟化碳是可作为氟和自由基氟化碳的来源，用于各种晶片蚀刻工艺。四氟化碳和氧结合用以蚀刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四氟化碳价格-安徽谱纯(在线咨询)-西安四氟化碳由安徽谱纯气体科技有限公司提供。安徽谱纯气体科技有限公司是安徽合肥,工业气体的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在安徽谱纯领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创安徽谱纯更加美好的未来。)