顶旭微控技术有限公司(多图)-金华显影机
使用方法该设备操作简单,易于上手,具体操作如下:一、曝光前准备工作1、硅片处理:确保待曝光硅片经过匀胶处理,表面干净平整,没有明显的污渍或破损。2、选择光刻板:根据项目需要,选择合适尺寸的光刻板,本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。3、设备检查:仔细检查设备,确保所有部件处于正常工作状态,确保操作环境良好。二、曝光操作步骤1、安装硅片:将待曝光硅片平放在设备的载台上,确保位置准确。2、放置光刻板:将光刻板平放在硅片上方,如果使用菲林掩膜,需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。3、设定曝光参数:使用控制面板设置曝光时间和强度,根据具体需求进行调整。微流控光刻机是一种精密的设备,其报价会受到多种因素的影响。首先,显影机,微流控光刻机的制造成本是一个重要的考虑因素,包括设备的材料成本、制造工艺成本、人工成本等。其次,微流控光刻机的性能也是一个重要的考虑因素,包括其精度、速度、稳定性等。此外,微流控光刻机的售后服务也是一个重要的考虑因素,包括设备的维护、维修、升级等。微流控光刻机的市场供求也是一个重要的考虑因素,如果市场上供应过剩,价格可能会下降前烘1)将涂布好SU8光刻胶的硅片放置在热板上,进行预热烘烤,去除光刻胶中的挥发性有ji溶剂,时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。(举例说明:目标胶厚度50um,设置温度65℃,烘烤15min,然后温度95度,烘烤15分钟)曝光1)将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。2)使用相应的掩模(掩膜)放置在硅片上进行曝光,曝光时间和强度根据SU-8光刻胶的类型和厚度进行调整。(举例说明:目标胶厚度50um,设置曝光能量25mw/cm2,时间12s)后烘将曝光后的硅片放置在热板上,进行后曝光烘烤,以确保光刻胶的交联反应完成。(举例说明:目标胶厚度50um,设置温度65℃,烘烤7min,然后温度95℃,烘烤3min)六、显影将硅片放入显影剂中,使未曝光部分的光刻胶溶解,形成模具的图案。(显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整,此处显影时间20min)清洗将显影后的硅片用异bing醇溶剂进行清洗,去除多余的光刻胶。检查使用显微镜检查制备的SU-8模具,测试观察制备的微结构尺寸,确认图案的清晰度和质量。顶旭微控技术有限公司(多图)-金华显影机由顶旭(苏州)微控技术有限公司提供。顶旭(苏州)微控技术有限公司为客户提供“微流控芯片定制,微流控芯片加工设备,微流控仪器,表面修饰”等业务,公司拥有“微流控芯片定制,微流控芯片加工设备,微流控仪器,表面修饰”等品牌,专注于生物制品等行业。,在苏州工业园区斜塘街道东富路32号雅景综合产业园A栋A217室的名声不错。欢迎来电垂询,联系人:周经理。)
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