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企业视频展播,请点击播放视频作者:凯德金(北京)科技发展有限公司真空泵分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。真空泵正确组合正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,循环水真空泵,需要几种泵组合起来,循环水真空泵厂家,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。真空泵配件真空泵配件主要包括以下几种:1.油雾过滤器(又名油雾分离器、排气过滤器、排气滤芯):在推动力的作用下,油气混合物通过真空泵油雾分离器的滤纸及棉质,油被截留,从而实现气体与真空油的分离操作过程。被过滤掉的真空泵油随着回油管进行循环利用,排出的则是无油的废气,以达到无污染、洁净的效果。2.空气过滤器(又名空气滤芯):由于真空泵的滑动空隙很小,外来的介质如果含有颗粒、污垢,可能会破坏滑动面,豁附或阻塞泵的滑动面,导致泵无法正常工作。为了防止这种情况,循环水真空泵报价,需要使用空气过滤器来阻挡这些外来物进入泵中。3.油过滤器(又名油格):这是真空泵油过滤装置,设置在泵浦回油管路上,主要用途是在回油箱中捕获体系内发生或者是侵入的污染物。除了上述三种常见的配件外,循环水真空泵生产厂家,真空泵可能还需要其他配件,例如密封件、轴承、联轴器、叶片、泵体等,具体取决于泵的类型和使用环境。为了确保真空泵的正常运行和延长使用寿命,建议定期检查和更换这些配件。同时,选择正规品牌和渠道购买配件也是非常重要的。循环水真空泵生产厂家-循环水真空泵-凯德金(查看)由凯德金(北京)科技发展有限公司提供。凯德金(北京)科技发展有限公司是从事“空压机”的企业,公司秉承“诚信经营,用心服务”的理念,为您提供更好的产品和服务。欢迎来电咨询!联系人:向经理。)
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