LPE的硅外延层，以其良好的电学、光学及其生长特性，而在CVD无法胜任的领域应用前景诱人.目前，取得较为成功的方面有:(1)垂直沟道的场控制器件中的埋栅制造及沟道的外延再填;(2)太阳能电池;(3)超晶格器件;(4)三维集成技术[1].场控制器件：CVD在硅器件的埋结制造中，因自掺杂而出现埋层尺寸增加，密排栅极叉指制造也受到严重影响，而LPE因其可以消除自掺杂，而在这方面得到应用，尤其对硼扩散的埋栅区域的埋结制造，其优点更为明显[1].与其他外延方法相比；它具有如下的优点：1）生长设备比较简单，；2）有较高的生长速率；3）掺杂剂选择范围广；4）晶体完整性好，外延层位错密度较衬底低；5）晶体纯度高，生长系统中没有和强腐蚀性的原料及产物，操作安全、简便等。LPE的不足在于，当外延层与衬底晶格常数差大于1%时，不能进行很好的生长。其次，由于分凝系数的不同，除生长很薄的外延层外，1260液相哪里有，在生长方向上控制掺杂和多元化合物组合均匀性遇到困难。再者LPE的外延层表面一般不如气相外延好。操作压力范围：高200bar（20MPa或2901psi）1260Infinity自动进样器的性能指标1、通讯：局域网（CAN）。RS232C，盐城1260液相，APG-远程标准，？可选的四个外部触点闭合和BCD数字输出2、安全功能：渗漏检测和安全渗漏处理、维护；区域低压、错误检测和显示3、进样量范围：0.1–100μL，1260液相供应商，增量为0.1μL带多次抽取组件（需改动硬件）时高达1500μL4、进样精度：5~40μL内，＜0.25%2~5μL内，＜0.5%1~2μL内，＜0.7%0.5~1μL内＜1.5%，5、进样准确度：±1%（10μL，n=10）6、样品黏度范围：0.2~5cp科鲁斯特测控科技(图)-1260液相供应商-盐城1260液相由苏州科鲁斯特测控科技有限公司提供。行路致远，砥砺前行。苏州科鲁斯特测控科技有限公司致力成为与您共赢、共生、共同前行的战略伙伴，更矢志成为二手机械设备具有竞争力的企业，与您一起飞跃，共同成功!)