真空泵组阀片的作用：阀片其实对于真空泵机组的运行起到了很大的作用，如果阀片受损就会严重影响机组的正常运转情况，所以这就需要对阀片做好定期检查，从而确保阀片能够长久保持良好的使用状态。真空泵组在运行过程中会出现机械故障，为了预防这些可能出现的故障，首先保证设备的密封效果，一般会在真空泵两端的柔性排气孔上安装一组阀片，阀片的作用是为了尽可能的缓解由于真空泵工作出现的气压不稳影响到内部压缩作业效果的情况。喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：①液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。②气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。③蒸汽喷射真空泵：以蒸汽（水、油或蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵分子泵：分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。)