低温硅液相外延：低温外延是硅器件制造的总体趋势.在硅LPE中，1260液相设备哪里有，由于新的溶剂(主要是Ag，Au及其合金)不断发现，大大降低了硅LPE的温度.金对硅的溶解度就是在400℃也能达到15at.%以上，Ag在845℃也有11at.%的Si含量.又因金在硅中的固溶度在800℃才达到影响光生载流子寿命的阈值，而当生长温度低于500℃时，上海1260液相设备，Au在硅中的固溶度不到1012cm-3。这对器件几乎没有任何影响，因此可以用纯金、纯银作为溶剂，分别在400℃，845℃左右进行低温外延生长.不过太高的溶解度会引起淀积速率不易控制和熔体内自发成核等问题[1].硅LPE系统：LPE技术发展到现在，其广泛采用的系统是改进的浸渍系统和滑动舟系统，1260液相设备好不好，近期报道一种新颖的旋转坩埚系统(离心系统)也值得注意[1].苏州科鲁斯特测控科技有限公司苏州科鲁斯特测控科技有限公司与其他外延方法相比；它具有如下的优点：1）生长设备比较简单，；2）有较高的生长速率；3）掺杂剂选择范围广；4）晶体完整性好，外延层位错密度较衬底低；5）晶体纯度高，生长系统中没有和强腐蚀性的原料及产物，操作安全、简便等。LPE的不足在于，当外延层与衬底晶格常数差大于1%时，不能进行很好的生长。其次，由于分凝系数的不同，除生长很薄的外延层外，在生长方向上控制掺杂和多元化合物组合均匀性遇到困难。再者LPE的外延层表面一般不如气相外延好。1260液相设备厂家-科鲁斯特-上海1260液相设备由苏州科鲁斯特测控科技有限公司提供。苏州科鲁斯特测控科技有限公司拥有很好的服务与产品，不断地受到新老用户及业内人士的肯定和信任。我们公司是商盟认证会员，点击页面的商盟客服图标，可以直接与我们客服人员对话，愿我们今后的合作愉快！)