随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。分子泵：分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。立式多级离心真空泵在安装时稍有不慎就会导致安装没做好，影响日后真空泵的工作性能。接下来为大家解析一立式多级离心真空泵下常见的安装误区及有关的解决办法。一、立式多级离心真空泵进水管路上弯头多，若是在进水管路上用的弯头多，会添加有些水流阻力。而且弯头应在笔直方向转弯，不允许在水平方向转弯，避免集合空气。二、装置进水管路时，水平段水平或向上翘。这样做会使进水管内集合空气，下降水管和水真空泵的真空度，使水真空泵吸水扬程下降，出水量削减。正确的做法是：其水平段应向水源方向稍有歪斜，不该水平，更不得向上翘起。)