旋片真空泵-白城真空泵-真空泵厂家陕西屹达
罗茨真空泵:泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子,转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真空泵。动量传输泵:这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。分子真空泵:它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子,使之压缩、排气的一种真空泵。立式多级离心真空泵在安装时稍有不慎就会导致安装没做好,影响日后真空泵的工作性能。接下来为大家解析一立式多级离心真空泵下常见的安装误区及有关的解决办法。一、立式多级离心真空泵进水管路上弯头多,若是在进水管路上用的弯头多,会添加有些水流阻力。而且弯头应在笔直方向转弯,不允许在水平方向转弯,避免集合空气。二、装置进水管路时,水平段水平或向上翘。这样做会使进水管内集合空气,下降水管和水真空泵的真空度,使水真空泵吸水扬程下降,出水量削减。正确的做法是:其水平段应向水源方向稍有歪斜,不该水平,更不得向上翘起。分子泵:分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。)