质量控制器-北京晓韬科技-质量控制器公司
企业视频展播,请点击播放视频作者:北京晓韬科技有限公司气体质量流量控制器的密封材料如何选择?质量流量控制器可以用于控制各种气体,质量控制器公司,包括腐蚀性气体和特殊气体,但是要注意,对于使用腐蚀性气体和特殊气体,需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时,需要向供货厂商特殊声明使用气体,以免因为选型或选择密封材料错误,造成严重损失。通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等,质量控制器哪家好,密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼、HF等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。由于金属密封的MFC价格较高,通常要求不高的场合,质量控制器,均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明,MFC都采用氟橡胶密封,可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体,例如可以用于HCl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体,需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶,如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;溶剂汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡胶;三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡胶。气体质量流量控制器工作压差范围是个什么概念?气体质量流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作,MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa,若压差小于0.1MPa,有可能操控流量达不上满量程值;若高过0.3MPa,有可能在关闭状态下仍有气体通过,即电磁阀漏气。客户应用MFC时,无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态,质量控制器厂家,都应保证MFC进出气两端的压差维持在所规定压差范围内,而且压差要相持续稳定。气体质量流量控制器的原理是什么?质量流量控制器由流量传感器、分流器、通道、电磁调节阀和电路板等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量积算仪上设置有稳压电源,设定电位器,和三位阀控开关等。质量控制器-北京晓韬科技-质量控制器公司由北京晓韬科技有限公司提供。质量控制器-北京晓韬科技-质量控制器公司是北京晓韬科技有限公司今年新升级推出的,以上图片仅供参考,请您拨打本页面或图片上的联系电话,索取联系人:杨经理。)
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