首先采用深反应离子刻蚀制作微通道，然后沉积派瑞林涂层C在微通道上，同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上，在其上制作金电极，在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合，剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放（Parylene）涂层微通道。通过控制（Parylene）涂层沉积的厚度，可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道，同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法，可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道，并通过释放工艺可以获得很好的派瑞林涂层微通道，同时可以重复使用硅模，普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳，派瑞林涂层，湿气及气体渗透性极低，具高屏障效果，抗酸碱性。由于Parylene涂层材料是在真空下沉积而成，是裂解的分子重新聚合形成的防护材料，属分子级的生长，生成的涂层致密稳定、摩擦系数小，且随着涂层生长厚度的增加，摩擦系数减小。在厚度为0.5μm时，摩擦系数仅相当于硅涂覆层的一半，派瑞林加工，厚度为2μm时的摩擦系数，仅相当于0.5μm厚涂层摩擦系数的1/4。Parylene材料有良好的物理和机械性能，派瑞林涂覆，其和常用涂层的物理和机械性能比较如表1所示，从表中可以看出，其抗拉强度、线膨胀系数、硬度数值等参数相对稳定，变化范围小，摩擦系数较小。所有液压缸都必须安装防尘圈。活塞杆回程时，防尘圈将粘在其表面上的脏物刮掉，保护密封圈和导向套免受损伤。双作用防尘圈兼有辅助密封功能，英德派瑞林，其内侧唇边刮掉粘附在活塞杆表面上的油膜，从而提高密封效果。防尘密封圈对保护关键性的液压设备部件是重要的。渗入尘土，不仅磨损密封件，而且会大大的磨损导向套和活塞杆，杂质进入液压介质中，亦会影响操作阀和泵的功能，亦可能损伤这些装置。防尘圈能除掉活塞杆表面上的尘土，但不损坏活塞杆上的油膜，这对密封件的润滑也有益。防尘圈在设计时，不仅要适应活塞杆，还必须在沟槽中起密封作用。派瑞林涂层-英德派瑞林-菱威真空镀膜派瑞林(查看)由东莞菱威纳米科技有限公司提供。东莞菱威纳米科技有限公司是广东东莞,工业制品的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在菱威纳米领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创菱威纳米更加美好的未来。)