净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。洁净隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。净化工程中空气净化处理方案：净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，无尘室设备，均应采用初效、中效、高1效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高1效空气过滤器代高1效空气过滤器。空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合：初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段;高1效空气过滤器或亚高1效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，高1效空气过滤的安装方式应简便可靠，宜检漏和更换;中效、亚高1效、高1效空气过滤器宜按额定风量选用;阻力、效率相近的高1效空气过滤器宜设置在同一净化车间内。光学微电子净化工程解决方案:4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点B、室内空气参数要求：(1)温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5%。(2)新风量大。由于这类车间内，无尘室，人员比较多，百级无尘室，可以根据以下数值应取下列的大值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡，无尘室工程，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是≥25次/h);如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数，是≥15次/h)。无尘室设备-清阳净化系统工程电话-无尘室由昆山清阳净化系统工程有限公司提供。昆山清阳净化系统工程有限公司在工程施工这一领域倾注了诸多的热忱和热情，清阳净化系统工程一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以品质、服务来赢得市场，衷心希望能与社会各界合作，共创成功，共创辉煌。相关业务欢迎垂询，联系人：蔡总。)