?【检查方法】检查检漏报告和日常维护记录。?【结果处理】当无特殊要求时，未作现场扫描检漏的应补做，如无特殊要求，宜采用将纳入《洁净室施工及验收规范》的粒子计数器大气尘检漏法。?【参考】大气尘检漏法可用2.83L/min粒子计数器，对5级及其以下洁净室所用普通高1效过滤器，需要高1效过滤器上游浓度≥5000粒/L，采样口宜为15mm×20mm，20mm为平行于扫描方向的长边，采样口离检漏表面25mm，无尘室施工，扫描速度≤2cm/s。?【参考】扫描过程中当出现≥1粒计数时，即出现漏泄特征，应在该处停留1min，若再出现≥3粒的计数，即判断为漏，否则为不漏。?【参考】ISO14644指出粒子计数器法比DOP光度计法检漏更灵敏。沉积在过滤器和管道上的DOP的挥发对产品可能造成无法接受的污染或分子污染；长时间测试会造成过滤器污染堵塞；对人也有危害。一、洁净室的空气洁净度，应进行下列测试(一)空态、静态测试空态测试:洁净室已竣工，万级无尘室，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，无尘室，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。(二)动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试。洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，无尘室设备，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。自控系统*7.1净化空调系统应根据对温湿度精度的要求设有自动监.控装置，监.控的内容包括参数检测、参数与设备状态显示、自动调节与控制、工况自动转换、设备联锁与自动保护、中央监.控与管理等，保证满足各个区域的温度、相对湿度、静压差等参数的要求。.?[检查方法]目检和检查图纸?[结果处理]未设置自动监.控装置的，为严重缺陷。应增设自动监.控装置，应能保证满足各个区域的温度、相对湿度、洁净度等参数的要求。?[参考]1参数检测:包括参数的就地检测及遥测两类。就地参数检测是现场运行人员管理运行设备或系统的依据；参数的遥测是监.控或就地控制系统制定监.控或控制策略的依据。2参数和设备状态显示：通过集中监.控系统主机系统的显示或打印单元以及就地控制系统的光、声响等器件显示某一参数是否达到规定值，或显示某一设备运行状态。3自动调节：使某些运行参数自动的保持规定值或按预定的规律变动。4设备联锁：使相关设备按某一指1定程序顺序启停（如送风机和排风机的启停顺序）。5自动保护：指设备运行状况异常或某些参数超过允许值时，发出报警信号或使系统中某些设备及元件自动停止工作。昆山清阳净化系统工程(图)-万级无尘室-无尘室由昆山清阳净化系统工程有限公司提供。昆山清阳净化系统工程有限公司拥有很好的服务与产品，不断地受到新老用户及业内人士的肯定和信任。我们公司是商盟认证会员，点击页面的商盟客服图标，可以直接与我们客服人员对话，愿我们今后的合作愉快！)